RTS-8四探针测试仪参数：

测量范围

电阻率：10^-5～10⁵Ω.cm；

方块电阻：10^-4～10⁶Ω/□；

电阻：10^-5～10⁵Ω；

电导率：10^-5～10⁵s/cm；

可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)；

               200mmX200mm (配S-2B型测试台)；

400mmX500mm (配S-2C型测试台)；

恒流源

电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调；

数字电压表

量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　　

分辨力：10μV；

输入阻抗：＞1000MΩ；   

精度：±0.1%；

显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；　　

四探针探头基本指标

间距：1±0.01mm；

针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；

机械游移率: ≤0.3％；

探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；

探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数

见探头附带的合格证，合格证含三参数项：

C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距；

模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；

整机测量大相对误差

(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试)≤±5％；

整机测量标准不确定度

≤5％；

外型尺寸（大约）

电气主机: 460mm×320mm×100mm；

S-2A型测试台: 190mm×140mm×260mm；

S-2B型测试台: 300mm×210mm×400mm；

S-2C型测试台: 500mm×400mm×350mm；

仪器重量（大约）

电气主机: 3.5kg；

S-2A型测试台: 2kg；

S-2B型测试台: 2.5kg；

S-2C型测试台: 4kg；

标准使用环境

温度:：23±2℃；

相对湿度：≤65％；

无高频干扰；

无强光直射；

*.注意:使用1μA量程时，允许有小于1.0nA的空载电流.在相对湿度小于50%时使用。